ZTS-9020 / ZTS-9050 / ZTS-9090
Hochgeschwindigkeits- Präzisions-Oberflächenprofil-Inspektionssensor für die Installation in der Werkstatt.
Berührungslose 3D-Oberflächenprofilsensor
Das System der ZeroTouch® ZTS-9000-Serie ist für die sehr hochauflösende Oberflächenprofilierung zylindrischer Strukturen optimiert und kann Zylinder bis zu 200 mm Tiefe scannen.
Schnelle, präzise 3D-Oberflächenmessungen
Der Sensor der ZeroTouch® 9000 Serie wertet mehrere Tausend Oberflächenprofile aus und nutzt dabei die fortschrittliche Weißlicht-Interferometrie-Technologie zur schnellen und präzisen Datenerfassung und 3D-Oberflächenrauhigkeitsmessung in Echtzeit. Durch den Einsatz hochauflösender Kameras liefert der Sensor hoch aussagekräftige Ergebnisse ohne die Grenzen taktiler Messsysteme.
Oberflächenmessungen
Hochauflösende Kameras messen sowohl glatte als auch raue Probenoberflächen berührungslos und charakterisieren mechanisch verarbeitete Oberflächen wie Spiegel, Halbleiterwafer, Mikrolinsen, Glas, Metall, Kunststoff, Verbundwerkstoffe oder andere Oberflächen.
Präzise Höhendarstellung
Der Sensor arbeitet mit Interferenzobjektiven von 2,5x bis 50x und liefert mit Hilfe eines Piezo-Objektivverstellers und einer Breitband-Wellenlängenspektrum-Beleuchtung eine schnelle, präzise Darstellung der Höheninformation und der relevanten Oberflächenparameter.
ISO-konforme Rauheitsmessungen
Objektive ab 10x und höher können für ISO-konforme Rauheitsmessungen nach ISO 25178 und ISO 4287 verwendet werden.
Raum- und Luftfahrt
- Lager
- Zylinder, Rohre und Bohrungen
- Zahnräder und Kettenräder
- Wellen und Dichtungen
- Inline-Messungen
- Aktoren
Automobilindustrie
- Lager
- Bremsen und Kupplungen
- Sensoren
- Motoren
- Zahnräder und Kettenräder
- Wellen und Dichtungen
Halbleiterindustrie
- Halbleiter
- Waferinspektion und Messtechnik
- Elektropolierte Oberflächen
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- Inkjet-Düsenplatte
- Hochreine Ventile
Medizinprodukte-Industrie
- Medizinprodukte
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- Medizinische Klingen und Scharfe
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Präzisionsfertigung
- Präzisionsbearbeitung Teile
- Schneidwerkzeuge
- Objektive
Unterhaltungselektronik
- LEDs
- MEMs
Funktionalität & Vorteile
- Berührungslose Messungen von glatten, rauen und glänzenden Oberflächen wie Glas, Metall, Kunststoff und Verbundwerkstoffen
- Präzise Messung der Höhe und der relevanten Oberflächenparameter
- Installiert in unmittelbarer Nähe der Produktionslinie
- Inspiziert Spiegel, Halbleiterwafer, Mikrolinsen und Solarzellen
- Mikron-Level, schnelle Messungen verschiedener Oberflächenprofile
- 3D-Sensor mit manuell austauschbarem Objektiv
- Weißlicht-Interferometrie-basierte, sehr hochauflösende Sensoren (5 MP und 2,3 MP)
- Piezo-Positionierungssystem mit interferometrischer kalibrierter Closed-Loop-Steuerung (bis zu 200µm Scanbereich)
- Optionaler XY-Positioniertisch mit manueller Z-Einstellung
- Fortschrittliche Algorithmen verbessern die Geschwindigkeit und reduzieren Systemgeräusche
Oberflächenmessungen
Hochauflösende Kamera
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| Messpunkte | 2,000 x 2,000 | ||
| Scangeschwindigkeit, volle Auflösung | 88 Hz | ||
| Scangeschwindigkeit ROI | Up to 2 kHz | ||
| Topographie Reproduzierbarkeit | <1 nm | ||
| Objektiv / Vergrößerung | Arbeitsabstand / mm | Messfeld / mm² | Messfeld / µm |
| 5x | 9.3 | 2.8 x 2.8 | 1.4 |
| 10x | 7.4 | 1.4 x 1.4 | 0.7 |
| 20x | 4.7 | 0.7 x 0.7 | 0.35 |
| 50x | 3.4 | 0.28 x 0.28 | 0.14 |
| 100x | 2 | 0.14 x 0.14 | 0.07 |
System Performance |
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| 1-σ Reproduzierbarkeit 12 μm Schritthöhe | <5 nm |
Scannen |
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| Scanbereich | Bis zu 200 μm |
| Scangeschwindigkeit, volle Auflösung | 5.9 μm/s |
| Maximale Scan-Geschwindigkeit bei | ~148 μm/s |
| Digitalisierung | Bis 0.01 pm |
Maschinengröße |
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| Sensorgewicht | ~16 kg (35.2 lbs) |
| Zylinderdurchmesser | 70-125 mm (standard configuration) |
| Standard-Einsteckachse | ~188 mm |
| Verlängerte Einsteckachse | ~270 mm |
| Motorisierte Einsteckachse | ~200 mm / Nähte |
Ressourcen
Vorteile der Konsolidierung von Messoperationen
Automatisierte Messplattformen gewährleisten nicht nur eine hohe Qualität der Endprodukte, sondern senken auch die Gesamtkosten pro Teil, indem sie mehrere Messoperationen in einem System konsolidieren.
Verbesserung der Langzeitleistung von Messsystemen
In anspruchsvollen Fertigungsumgebungen sind Justierbarkeit, Kalibrierung und Überwachung von entscheidender Bedeutung für die langfristige Leistung von automatisierten Messsystemen, die in unkontrollierten Umgebungen installiert sind.
Geschwindigkeitsgewinn bei kontaktbehafteter vs. berührungsloser Oberflächenprofilierung
Bei der Oberflächenmorphologie-Inspektion liefern berührungslose optische Methoden die gleichen Messergebnisse wie ein herkömmlicher Kontakt Profiler – allerdings in einem Bruchteil der Zeit.
Kontaktaufnahme
Mit Produktionsstätten in den USA und China bietet DWFritz globalen Support an.
