ZTS-9020 / ZTS-9050 / ZTS-9090

Hochgeschwindigkeits- Präzisions-Oberflächenprofil-Inspektionssensor für die Installation in der Werkstatt.

Berührungslose 3D-Oberflächenprofilsensor

Das System der ZeroTouch® ZTS-9000-Serie ist für die sehr hochauflösende Oberflächenprofilierung zylindrischer Strukturen optimiert und kann Zylinder bis zu 200 mm Tiefe scannen.

Schnelle, präzise 3D-Oberflächenmessungen

Der Sensor der ZeroTouch® 9000 Serie wertet mehrere Tausend Oberflächenprofile aus und nutzt dabei die fortschrittliche Weißlicht-Interferometrie-Technologie zur schnellen und präzisen Datenerfassung und 3D-Oberflächenrauhigkeitsmessung in Echtzeit. Durch den Einsatz hochauflösender Kameras liefert der Sensor hoch aussagekräftige Ergebnisse ohne die Grenzen taktiler Messsysteme.

Determination of honing angle and volume parameters.
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Oberflächenmessungen

Hochauflösende Kameras messen sowohl glatte als auch raue Probenoberflächen berührungslos und charakterisieren mechanisch verarbeitete Oberflächen wie Spiegel, Halbleiterwafer, Mikrolinsen, Glas, Metall, Kunststoff, Verbundwerkstoffe oder andere Oberflächen.

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Präzise Höhendarstellung

Der Sensor arbeitet mit Interferenzobjektiven von 2,5x bis 50x und liefert mit Hilfe eines Piezo-Objektivverstellers und einer Breitband-Wellenlängenspektrum-Beleuchtung eine schnelle, präzise Darstellung der Höheninformation und der relevanten Oberflächenparameter.

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ISO-konforme Rauheitsmessungen

Objektive ab 10x und höher können für ISO-konforme Rauheitsmessungen nach ISO 25178 und ISO 4287 verwendet werden.

Raum- und Luftfahrt

  • Lager
  • Zylinder, Rohre und Bohrungen
  • Zahnräder und Kettenräder
  • Wellen und Dichtungen
  • Inline-Messungen
  • Aktoren

Automobilindustrie

  • Lager
  • Bremsen und Kupplungen
  • Sensoren
  • Motoren
  • Zahnräder und Kettenräder
  • Wellen und Dichtungen
Semiconductor Industry

Halbleiterindustrie

  • Halbleiter
  • Waferinspektion und Messtechnik
  • Elektropolierte Oberflächen
  • Die attach
  • Inkjet-Düsenplatte
  • Hochreine Ventile
Medical Devices Industry

Medizinprodukte-Industrie

  • Medizinprodukte
  • Zahnimplantate
  • Medizinische Klingen und Scharfe
  • Stents
  • Orthopädie

Präzisionsfertigung

  • Präzisionsbearbeitung Teile
  • Schneidwerkzeuge
  • Objektive

Funktionalität & Vorteile

  • Berührungslose Messungen von glatten, rauen und glänzenden Oberflächen wie Glas, Metall, Kunststoff und Verbundwerkstoffen
  • Präzise Messung der Höhe und der relevanten Oberflächenparameter
  • Installiert in unmittelbarer Nähe der Produktionslinie
  • Inspiziert Spiegel, Halbleiterwafer, Mikrolinsen und Solarzellen
  • Mikron-Level, schnelle Messungen verschiedener Oberflächenprofile
  • 3D-Sensor mit manuell austauschbarem Objektiv
  • Weißlicht-Interferometrie-basierte, sehr hochauflösende Sensoren (5 MP und 2,3 MP)
  • Piezo-Positionierungssystem mit interferometrischer kalibrierter Closed-Loop-Steuerung (bis zu 200µm  Scanbereich)
  • Optionaler XY-Positioniertisch mit manueller Z-Einstellung
  • Fortschrittliche Algorithmen verbessern die Geschwindigkeit und reduzieren Systemgeräusche

Oberflächenmessungen

Hochauflösende Kamera

Messpunkte 2,000 x 2,000
Scangeschwindigkeit, volle Auflösung 88 Hz
Scangeschwindigkeit ROI Up to 2 kHz
Topographie Reproduzierbarkeit <1 nm
Objektiv / Vergrößerung Arbeitsabstand / mm Messfeld / mm² Messfeld / µm
5x 9.3 2.8 x 2.8 1.4
10x 7.4 1.4 x 1.4 0.7
20x 4.7 0.7 x 0.7 0.35
50x 3.4 0.28 x 0.28 0.14
100x 2 0.14 x 0.14 0.07

System Performance

1-σ Reproduzierbarkeit 12 μm Schritthöhe <5 nm

Scannen

Scanbereich Bis zu 200 μm
Scangeschwindigkeit, volle Auflösung 5.9 μm/s
Maximale Scan-Geschwindigkeit bei ~148 μm/s
Digitalisierung Bis 0.01 pm

Maschinengröße

Sensorgewicht ~16 kg (35.2 lbs)
Zylinderdurchmesser 70-125 mm (standard configuration)
Standard-Einsteckachse ~188 mm
Verlängerte Einsteckachse ~270 mm
Motorisierte Einsteckachse ~200 mm / Nähte

Ressourcen

Vorteile der Konsolidierung von Messoperationen

Automatisierte Messplattformen gewährleisten nicht nur eine hohe Qualität der Endprodukte, sondern senken auch die Gesamtkosten pro Teil, indem sie mehrere Messoperationen in einem System konsolidieren.

Verbesserung der Langzeitleistung von Messsystemen

In anspruchsvollen Fertigungsumgebungen sind Justierbarkeit, Kalibrierung und Überwachung von entscheidender Bedeutung für die langfristige Leistung von automatisierten Messsystemen, die in unkontrollierten Umgebungen installiert sind.

Geschwindigkeitsgewinn bei kontaktbehafteter vs. berührungsloser Oberflächenprofilierung

Bei der Oberflächenmorphologie-Inspektion liefern berührungslose optische Methoden die gleichen Messergebnisse wie ein herkömmlicher Kontakt Profiler – allerdings in einem Bruchteil der Zeit.

Kontaktaufnahme

Mit Produktionsstätten in den USA und China bietet DWFritz globalen Support an.

Global support and service