ZTS-1020 / ZTS-1050

 Hochgeschwindigkeits- und Präzisionssensor Oberflächenprofil-Inspektionssensor für die Installation in der Werkstatt.

Berührungslose 3D-Oberflächenprofilsensor

Der berührungslose Oberflächenprofilsensor der Serie ZeroTouch® 1000 erzeugt eine 3D-Punktwolke aus Mikrogeometrien und Mikrostrukturen mit einem erweiterten Scanbereich in der Z-Achse bis zu 5 mm.

Schnelle, präzise 3D-Oberflächenmessungen

Der Sensor der ZeroTouch® 1000 Serie wertet mehrere Tausend Oberflächenprofile aus und nutzt dabei die fortschrittliche Weißlicht-Interferometrie-Technologie zur schnellen und präzisen Datenerfassung und 3D-Oberflächenrauhigkeitsmessung in Echtzeit. Durch den Einsatz hochauflösender Kameras liefert der Sensor hoch aussagekräftige Ergebnisse ohne die Grenzen taktiler Messsysteme.

Extreme rough surfaces
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Oberflächenmessungen

Hochauflösende Kameras messen sowohl glatte als auch raue Probenoberflächen berührungslos und charakterisieren mechanisch verarbeitete Oberflächen wie Spiegel, Halbleiterwafer, Mikrolinsen, Glas, Metall, Kunststoff, Verbundwerkstoffe oder andere Oberflächen.

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Präzise Höhendarstellung

Der Sensor arbeitet mit Interferenzobjektiven von 2,5x bis 50x und liefert mit Hilfe eines Piezo-Objektivverstellers und einer Breitband-Wellenlängenspektrum-Beleuchtung eine schnelle, präzise Darstellung der Höheninformation und der relevanten Oberflächenparameter.

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ISO-konforme Rauheitsmessungen

Objektive ab 10x und höher können für ISO-konforme Rauheitsmessungen nach ISO 25178 und ISO 4287 verwendet werden.

Raum- und Luftfahrt

  • Lager
  • Zylinder, Rohre und Bohrungen
  • Zahnräder und Kettenräder
  • Wellen und Dichtungen
  • Inline-Messungen
  • Aktoren

Automobilindustrie

  • Lager
  • Bremsen und Kupplungen
  • Sensoren
  • Motoren
  • Zahnräder und Kettenräder
  • Wellen und Dichtungen
Semiconductor Industry

Halbleiterindustrie

  • Halbleiter
  • Waferinspektion und Messtechnik
  • Elektropolierte Oberflächen
  • Die attach
  • Inkjet-Düsenplatte
  • Hochreine Ventile
Medical Devices Industry

Medizinprodukte-Industrie

  • Medizinprodukte
  • Zahnimplantate
  • Medizinische Klingen und Scharfe
  • Stents
  • Orthopädie

Präzisionsfertigung

  • Präzisionsbearbeitung Teile
  • Schneidwerkzeuge
  • Objektive

Funktionalität & Vorteile

  • Berührungslose Messungen von glatten, rauen und glänzenden Oberflächen wie Glas, Metall, Kunststoff und Verbundwerkstoffen
  • Präzise Messung der Höhe und der relevanten Oberflächenparameter
  • Installiert in unmittelbarer Nähe der Produktionslinie
  • Inspiziert Spiegel, Halbleiterwafer, Mikrolinsen und Solarzellen
  • Mikron-Level, schnelle Messungen verschiedener Oberflächenprofile
  • 3D-Sensor mit manuell austauschbarem Objektiv
  • Weißlicht-Interferometrie-basierte, sehr hochauflösende Sensoren (5 MP und 2,3 MP)
  • Piezo-Positionierungssystem mit interferometrischer kalibrierter Closed-Loop-Steuerung (bis zu 5.000 5,000µm Scanbereich)
  • Optionaler XY-Positioniertisch mit manueller Z-Einstellung
  • Fortschrittliche Algorithmen verbessern die Geschwindigkeit und reduzieren Systemgeräusche

Oberflächenmessungen

Hochauflösende Kamera

5 MP (ZTS-1050) 2.3 MP (ZTS-1020)
Messpunkte 2,456 x 2,054 1,920 x 1,200
Scangeschwindigkeit, volle Auflösung 77 Hz 169 Hz
Scangeschwindigkeit ROI  Bis zu 2 kHz  Bis zu 3.2 kHz
Topographie Reproduzierbarkeit <7 nm <5 nm
Scangeschwindigkeit 5.2 μm/s 11.4 μm/s
Objektiv / Vergrößerung Arbeitsabstand / mm Messfeld / mm² Punktabstand / µm Arbeitsabstand / mm Messfeld / mm² Punktabstand / µm
2.5x 10.3 6.8 x 5.7 2.8 10.3 7.3 x 4.6 3.8
5x 9.3 3.4 x 2.8 1.4 9.3 3.7 x 2.3 1.9
10x 7.4 1.7 x 1.4 0.69 7.4 1.8 x 1.2 0.96
20x 4.7 0.85 x 0.71 0.35 4.7 0.91 x 0.58 0.48
50x 3.4 0.34 x 0.28 0.14 3.4 0.37 x 0.23 0.19
100x 2 0.17 x 0.14 0.07 2 0.18 x 0.12 0.1
115x 0.7 0.15 x 0.12 0.6 0.7 0.16 x 0.1 0.08

Systemleistung

1-σ Reproduzierbarkeit 0,4 m Schritthöhe <10 nm
1-σ Reproduzierbarkeit 12 m Schritthöhe <20 nm
1-σ Reproduzierbarkeit 100 m Schritthöhe <30 nm

Maschinengröße

Sensorgewicht ~2 kg (4.4 lbs)
Grober Positionierungsbereich (max.)
(manuelle Z-Positionierung)
70 mm
Feine Positionierungsreihe
(manuelle Z-Positionierung)
1.9 mm
Gekippter Winkel (Nivellierungsvorrichtung) ±3°

Scannen

Scanbereich Bis zu 5,00 μm
Maximale Scan-Geschwindigkeit von ~400 μm/s
Digitalisierung Bis 0.01 pm

Positionierungstabelle¹

Positionierfläche 100 x 100 mm²
Tragfähigkeit 2 kg
Auflösung 0.01 µm
Orthogonalität <10 arcsec
Vibrationsisolationsoptionen verfügbar

¹ Andere Positionierungstischgrößen auf Anfrage erhältlich.

Ressourcen

Vorteile der Konsolidierung von Messoperationen

Automatisierte Messplattformen gewährleisten nicht nur eine hohe Qualität der Endprodukte, sondern senken auch die Gesamtkosten pro Teil, indem sie mehrere Messoperationen in einem System konsolidieren.

Verbesserung der Langzeitleistung von Messsystemen

In anspruchsvollen Fertigungsumgebungen sind Justierbarkeit, Kalibrierung und Überwachung von entscheidender Bedeutung für die langfristige Leistung von automatisierten Messsystemen, die in unkontrollierten Umgebungen installiert sind.

Geschwindigkeitsgewinn bei kontaktbehafteter vs. berührungsloser Oberflächenprofilierung

Bei der Oberflächenmorphologie-Inspektion liefern berührungslose optische Methoden die gleichen Messergebnisse wie ein herkömmlicher Kontakt Profiler – allerdings in einem Bruchteil der Zeit.

Kontaktaufnahme

Mit Produktionsstätten in den USA und China bietet DWFritz globalen Support an.

Global support and service